FIB双束扫描电镜是通过聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后，通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。

　　FIB双束扫描电镜的工作流程如下：

　　1、执行激光加工的设置步骤

　　(1)将样品装载到样品夹上并传送到双束电镜主舱室。

　　(2)导入、覆盖和对齐蔡司关联工作区的三维X射线数据或二维光学显微镜图像等。

　　(3)找到您的感兴趣区域，获取参考图像。

　　2、对齐扫描电镜和激光坐标

　　(1)使用SEM扫描四个样品架基准点以锁定样品和SEM坐标。

　　(2)将样品运送到集成飞秒(fs)激光室。

　　(3)使用飞秒激光扫描四个样品架基准点以锁定样品和激光坐标。

　　(4)SEM和激光坐标现已对齐。

　　3、加工大量材料

　　(1)绘制您的激光图案。

　　(2)曝光您的激光图案。

　　(3)以优于2μm的目标精度快速去除大量材料。

　　4、将样品传送到双束电镜主舱室，让您的双束电镜继续工作

　　(1)已经能够观察到微结构细节。

　　(2)根据高分辨率成像的需要执行FIB抛光。

　　(3)使用新颖的工作流程创建TEM和原子探针样品。

　　(4)通过即时SEM反馈，快速优化激光方案。想了解更多蔡司FIB扫描电镜信息请在线或电话咨询4001500108