蔡司 SmartEDX用于常规SEM扫描电镜显微分析应用的一体化EDS解决方案

　　如果单采用SEM成像技术无法全面了解部件或样品，研究人员就会借助能谱仪(EDS)来采集元素化学成份的空间分布信息。

　　1. 针对常规显微分析应用进行了优化

　　SEM和EDS的搭配使用必须经过谨慎细致的考量。EVO上的SmartEDX非常适用于常规显微分析应用，尤其对于数据重复性要求高的客户而言更是理想的选择。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探头电流(典型的EVO工作条件)下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的优异透过率, SmartEDX更适合于探测到来自轻元素的低能X射线。

　　2. 工作流程引导的图形用户界面

　　SmartEDX旨在提高多用户环境中的易用性和工作流程重复性。与其他蔡司工作流程引导的软件解决方案(如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle&Find)一样，SmartEDX软件易于学习，使用直观，并有助于确保在SEM上执行分析任务的重复性，尤其是在多个操作者使用该系统的环境中。

　　3. 全方位的蔡司服务和系统支持

　　SmartEDX由蔡司提供全方位支持，因此该EDS解决方案非常适合那些希望精简分析设备供应商数量的客户。所有安装、预防性维护、保修、诊断和维修、备件物流以及整个系统服务合同中的内容均由蔡司全面负责，为您的SEM分析解决方案提供一站式的的支持。